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メタライズ材料 |
| 材料 |
W
タングステン |
Mo
モリブデン |
Mo-Mn
モリブデンーマンガン |
| 用途 |
ボンディング用
ロウ付け部 |
VIA HOLE用
ロウ付け部 |
ロウ付け部 |
| 厚み |
10〜20μm |
10〜30μm |
| 抵抗 |
14mΩ/□＊ |
- |
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メッキ処理 |
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Ni-ELP(B) 1μMIN (+シンター処理） |
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VIA HOLE |
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ライン＆スペース |
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標準品 |
特注品 |
| 複雑形状 |
ライン
スペース |
MIN 0.20
MIN 0.20 |
MIN 0.15
MIN 0.15 |
| 単純形状 |
ライン
スペース |
MIN 0.15
MIN 0.15 |
MIN 0.10
MIN 0.10 |
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